智能制造学院许红伍老师团队的江苏省产学研项目《碳化硅单晶制备设备的研发》于2024年12月顺利结题。该项目为2023年江苏省产学研对接大会现场签约项目，合作企业为江苏思峻机械设备有限公司。

项目旨在研发一套碳化硅单晶制备设备，主要用于实现6英寸4H-SiC单晶制作，以提升4H-SiC制备的良品率。项目主要任务：（1）研究碳化硅籽晶固定技术；（2）研究多型相变控制技术；（3）研究层错缺陷控制技术；（4）设计PVT法单晶炉的结构；（5）选配温度和气体控制辅件。

项目组按照计划完成了预期任务，完成了一套单晶制备设备，设备的性能达到了预期的效果，已完成样机的试制和中试，目前正处于小规模量产阶段，并机已产生了良好的经济效益。项目实施期间，受理发明专利2件；授权实用新型专利2项。

截至2024年10月，所研制设备已能稳定正常运转。目前，项目组正与合作企业就设备性能优化及生产效率提升等方面开展进一步开展研究。（图文/许红伍 审核/荆瑞红）